随着现代工业生产和科学技术的发展，三坐标测量仪在精密测量领域中越来越广泛的应用，它的重要地位正在逐渐的显现，尤其是在曲面及回转体工件测量方面三坐标测量仪有着无可比拟的优越性，它具有准确度高、效率高、置信度高、软件功能齐全等优点。在实际测量过程中，影响三坐标测量仪正常工作的因素还是有很多的，下面我们来看看最重要的两点。　　                                               
　　因素一：压力对三坐标测量仪的影响　　
　　在正常工作压力的前提下，气浮块的浮起间隙约4~12μm，空气压力的波动会使气浮块的气浮间隙变化，影响测量重复性。气压严重不足时，会使气浮块不能充分浮起造成与导轨摩擦，轻者影响测量机运动状态和测量精度，重者会磨损导轨和气浮块,严重损坏测量机。Z轴采用气动平衡的测量机在气压严重不足的情况下会造成Z轴失衡下落的情况，非常危险。所以要尽量保证测量机工作压力的稳定。　　
       a.要选择合适的空压机，最好另有储气罐，使空压机工作寿命长，压力稳定。　　
       b.空压机的启动压力一定要大于工作压力。　　
       c.开机时，要先打开空压机，然后接通电源。
　　因素二：油和水对三坐标测量机的影响　　
　　由于空压机对空气压缩的同时会把空气中的水分子和油分子压缩成水和油，而且空压机本身工作时也需要有润滑油对其机构进行润滑，也使得有一部分润滑油进入压缩空气。进入压缩空气的水和油会随着压缩空气进入到平衡气缸和气浮块。在测量机工作时水和油附着在导轨上，使导轨的直线度改变。当测量机不工作时管道中的油滴可能堵塞气浮块的气孔，使气浮块不能正常浮起，造成气浮块与导轨的摩擦，损坏测量机并使气管老化。管道中的水还会腐蚀气浮块和平衡气缸。